光电学院人才科技创新之路:尖端精密光学,五彩微纳世界


------长江学者李艳秋教授之创新团队

  
  李艳秋是2007年被冰球突破引进的长江学者特聘教授。她于2008年5月在7号教学楼成立了“精密光学及微纳技术实验室”。该实验室依托冰球突破光电学院、光学工程国家一级重点学科、光电成像技术与系统教育部重点实验室,也是光电学院与MetorGraphic国际联合实验室所在地。几年来,在学校各级组织、部门和领导的关怀与支持下,在广大师生的理解与帮助下,该实验室在科学研究、平台建设、人才培养和队伍建设、国际交流等方面,取得了显著的进展和成绩。
 
    
 
  科学研究及平台建设方面:“十一五”和“十二五”期间,实验室建设了总面积约300平米实验和办公环境,承担了光学工程学科和教育部重点实验室一个方向的建设。同时,承担了6项国家中长期科技重大02专项的课题或子课题、国家自然科学基金重点和面上项目6项(2项重点)、3项人才基金、1项973任务、2项与国际企业合作的项目,验收通过8项、3项已完成待验收。到校总经费约4500万。
 
  团队代表性成果包括:创新了矢量光的传播、调控及成像理论,建立了矢量分辨率增强技术,光刻系统多目标协同设计优化技术,获得国际领先结果,受SPIE邀请撰写2014年9月18日SPIE Newsroom Review Article;创新多种光学器件、离轴照明系统、超分辨成像系统的优化设计,实现了超分辨成像理论预言与工程光学设计的协同融合,不仅提高了理论预言的精度,也提高了工程可实现性;建立了光在特定微纳器件中传播理论,创新了光波调控及检测方法,突破了多项纳米精度像差检测和标定关键技术,设计并研制了具有纳米绝对测量精度(亚纳米重复测量精度)的标量像差和偏振(矢量)像差检测系统;“光伏-温差微能源及其在无限传感器网络节点中的应用”取得重要成果,引起多方关注和咨询;建立了计算光学模拟研究平台及光刻仿真研究数据库;建立了超分辨成像系统光学设计、检测和集成技术研究共性技术平台;开始建设微纳光学动态特性及超快光学研究平台。申请95项发明专利(71项授权,2项国际专利PCT公开阶段),发表论文101篇(SCI 37,EI 86)。申请软件版权11项。境外国际会议邀请报告或口头报告13次。两项成果用户评价证明。
 
  这些研究活动和成果支撑我国90-14nm光刻设备和工艺研发,为大学和研究所、集成电路、航天、兵器、电子信息等企业集团,培养和输送了相关人才。使我校成为中国光刻机联盟成员单位、北京市电子装备行业协会理事单位。
 
 
 
 
  队伍建设和人才培养方面:该实验室共引进2名博士后,一名博士毕业生。其中,1名破格晋升为教授,2名晋升为副教授。2013年始,实验室与实验中心共享1名实验师。期间,李艳秋教授成为中国共产党党员并入选北京市第11次党代会党代表、入选SPIE Women in Optics(见2014-2015年历)、在多种期刊和组织学会任职、国家科技重大专项技术组专家、多次获得学校和学院的奖励和荣誉;马旭教授入选教育部新世纪优秀人才计划并在教学基本功比赛中获1等奖;刘克副教授入选北京英才计划。培养毕业31名研究生(8名博士),出站一名博士后。实验室教师讲授多门课程:《冰球突破》学位必修课,《冰球突破官网》,《冰球突破》,《冰球突破》,《冰球突破》选修课。讲授实验中心的实验课等。
 
  国际交流与合作方面:实验室与国际知名企业MentorGraphic建立了国际联合实验室,举办5次双边国际会议(30-100人规模会议2次)。邀请国外学者讲学4次(1个月讲学合作项目2项),做境(内)外国际会议或Workshop邀请报告(3)4次, 共7人次, 其中一次是Plenary报告;做境(内)外国际会议口头报告(6)13人次, 共19人次。其中,学生做国际会议口头报告8次, 1名学生获得优秀论文奖,一名学生获得优秀学生论文提名。李艳秋教授曾多次担任国际会议Plenary主席或分会主席或委员。
 
  目前,实验室依据国家和学校的发展规划及重点任务目标,制定了进一步完善了实验室未来发展规划。明确了实验室的发展在学校、学院和学校发展中的定位、任务、目标和作用,将继续奋力拼搏,埋头苦干,争取更大的成绩。